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Micromechanical indentation study of stress related effects in transistor channels.
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Schriftenreihe Kompetenzen in Keramik und Materialdiagnostik 1
| ISBN: | 3839617979 |
|---|---|
| ISBN 13: | 9783839617977 |
| Autor: | Schlipf, Simon |
| Herausgeber: | Alexander Michaelis/Fraunhofer IKTS Dresden |
| Verlag: | Fraunhofer IRB Verlag |
| Umfang: | 134 S., num., mostly col. illus. and tab. |
| Erscheinungsdatum: | 21.03.2022 |
| Auflage: | 1/2022 |
| Produktform: | Kartoniert |
| Einband: | Kartoniert |
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