Produktbild: Fundamental Aspects of Silicon Oxidation

Fundamental Aspects of Silicon Oxidation

Lieferzeit: Lieferbar innerhalb 14 Tagen

106,99 €

inkl. 7 % MwSt. zzgl. Versandkosten

Springer Series in Materials Science 46

ISBN: 354041682X
ISBN 13: 9783540416821
Herausgeber: Yves J Chabal
Verlag: Springer Verlag GmbH
Umfang: xiii, 262 S., 126 s/w Illustr., 21 farbige Illustr., 262 p. 147 illus., 21 illus. in color.
Erscheinungsdatum: 24.04.2001
Auflage: 1/2001
Produktform: Gebunden/Hardback
Einband: Gebunden
Artikelnummer: 1566811 Kategorie:

Beschreibung

This book deals with an important basic technology in microelectronics. It discusses silicon oxidation in a tutorial fashion from both experimental and theoretical viewpoints. The authors report on the state of the art both at Lucent Technology and in academic research. The book will appeal to researchers and advanced students.

Herstellerkennzeichnung:


Springer Verlag GmbH
Tiergartenstr. 17
69121 Heidelberg
DE

E-Mail: juergen.hartmann@springer.com

Das könnte Ihnen auch gefallen …