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69121 Heidelberg
DE
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Micromachined Thin-Film Sensors for SOI-CMOS Co-Integration
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| ISBN: | 1441939571 |
|---|---|
| ISBN 13: | 9781441939579 |
| Autor: | Laconte, Jean/Flandre, Denis/Raskin, Jean-Pierre |
| Verlag: | Springer Verlag GmbH |
| Umfang: | xiv, 292 S. |
| Erscheinungsdatum: | 29.10.2010 |
| Auflage: | 1/2010 |
| Produktform: | Kartoniert |
| Einband: | Kartoniert |
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