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69121 Heidelberg
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Thin Films Material Technology
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Sputtering of Compound Materials
| ISBN: | 3642059317 |
|---|---|
| ISBN 13: | 9783642059315 |
| Autor: | Wasa, Kiyotaka/Kitabatake, Makoto/Adachi, Hideaki |
| Verlag: | Springer Verlag GmbH |
| Umfang: | xiv, 518 S. |
| Erscheinungsdatum: | 02.01.2013 |
| Auflage: | 1/2013 |
| Produktform: | Kartoniert |
| Einband: | Kartoniert |
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