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Micromachined Resonant Devices
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Design, Modeling, and Simulation – Microsystems 230
| ISBN: | 0387462791 |
|---|---|
| ISBN 13: | 9780387462790 |
| Autor: | Hao, Zhili |
| Verlag: | Springer Verlag GmbH |
| Umfang: | 400 S. |
| Erscheinungsdatum: | 15.10.2009 |
| Auflage: | 1/2008 |
| Produktform: | Buch |
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