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69121 Heidelberg
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Metal Impurities in Silicon- and Germanium-Based Technologies
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Origin, Characterization, Control, and Device Impact, Springer Series in Materials Science 270
| ISBN: | 3030067475 |
|---|---|
| ISBN 13: | 9783030067472 |
| Autor: | Claeys, Cor/Simoen, Eddy |
| Verlag: | Springer Verlag GmbH |
| Umfang: | xxxiii, 438 S., 8 s/w Illustr., 207 farbige Illustr., 438 p. 215 illus., 207 illus. in color. |
| Erscheinungsdatum: | 30.01.2019 |
| Auflage: | 1/2018 |
| Produktform: | Kartoniert |
| Einband: | Kartoniert |
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