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Metal Impurities in Silicon-Device Fabrication
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Springer Series in Materials Science 24
| ISBN: | 3642629652 |
|---|---|
| ISBN 13: | 9783642629655 |
| Autor: | Graff, Klaus |
| Verlag: | Springer Verlag GmbH |
| Umfang: | xv, 270 S., 26 s/w Illustr. |
| Erscheinungsdatum: | 21.10.2012 |
| Auflage: | 2/2013 |
| Produktform: | Kartoniert |
| Einband: | Kartoniert |
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