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Mécanismes denlèvement de particules par laser impulsionnel
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Applications à la microélectronique
| ISBN: | 6131546800 |
|---|---|
| ISBN 13: | 9786131546808 |
| Autor: | Grojo, David |
| Verlag: | Éditions universitaires européennes |
| Umfang: | 180 S. |
| Erscheinungsdatum: | 11.11.2010 |
| Auflage: | 1/2010 |
| Format: | 1.1 x 22 x 15 |
| Gewicht: | 286 g |
| Produktform: | Kartoniert |
| Einband: | Kartoniert |
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