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Modelling of Microfabrication Systems
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Microtechnology and MEMS
| ISBN: | 3540002529 |
|---|---|
| ISBN 13: | 9783540002529 |
| Autor: | Nassar, Raja/Dai, Weizhong |
| Verlag: | Springer Verlag GmbH |
| Umfang: | x, 270 S. |
| Erscheinungsdatum: | 13.06.2003 |
| Produktform: | Gebunden/Hardback |
| Einband: | Gebunden |
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