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Chemical Physics of Thin Film Deposition Processes for Micro- and Nano-Technologies
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NATO Science Series II: Mathematics, Physics and Chemistry 55, NATO Science Series II: Mathematics, Physics and Chemistry 55
| ISBN: | 1402005245 |
|---|---|
| ISBN 13: | 9781402005244 |
| Herausgeber: | Y Pauleau |
| Verlag: | Springer Verlag GmbH |
| Umfang: | xiii, 363 S. |
| Erscheinungsdatum: | 30.04.2002 |
| Auflage: | 1/2002 |
| Produktform: | Gebunden/Hardback |
| Einband: | Gebunden |
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