Silizium-Planartechnologie

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Grundprozesse, Physik und Bauelemente, Teubner Studienbücher Physik

ISBN: 3519004674
ISBN 13: 9783519004677
Autor: Wagemann, Hans-Günther/Schönauer, Tim
Verlag: Springer Vieweg
Umfang: xviii, 212 S., 38 s/w Illustr., 212 S. 38 Abb.
Erscheinungsdatum: 30.10.2003
Format: 1.5 x 24 x 17
Gewicht: 410 g
Produktform: Kartoniert
Einband: KT

Von der Physik zum Chip

Die Grundlagen der Mikroelektronik werden kompakt und in leicht verständlicher Form vorgestellt. Der Leser erfährt, wie integrierte Schalkreise hergestellt werden, wie sie funktionieren und wie ihre Grundelemente physikalisch beschrieben werden können. Aufgrund der großen Bedeutung von Simulationsprogrammen in der Silizium-Planartechnologie wird ergänzend auf CAD-Werkzeuge von der Prozesssimulation (z. B. ISE-TCAD) bis hin zur Schaltungssimulation (z. B. SPICE) eingegangen.

Artikelnummer: 1233632 Kategorie:

Beschreibung

Die Grundlagen der Mikroelektronik werden kompakt und in leicht verständlicher Form vorgestellt. Der Leser erfährt, wie integrierte Schaltkreise hergestellt werden, wie sie funktionieren und welche Bauelemente sich realisieren lassen.

Inhaltsverzeichnis

Technologische Grundprozesse - Grundlagen der Halbleiterphysik für Siliziumbauelemente - Integrierte Widerstände und Kondensatoren - Der pn-Übergang - Der Metall-Halbleiter-Kontakt - Die Halbleiteroberfläche anhand des MOS-Varaktors - Der reale MOS-Transistor - Herstellungsprozess von Halbleiterbauelementen

Autorenporträt

Prof. Dr.-Ing. Dr. h.c. H.G. Wagemann, TU Berlin Dr. Tim Schönauer, Infineon Technologies AG

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