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69121 Heidelberg
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Multi-Wafer Rotating MEMS Machines
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Turbines, Generators, and Engines, MEMS Reference Shelf
| ISBN: | 0387777466 |
|---|---|
| ISBN 13: | 9780387777467 |
| Herausgeber: | Jeffrey Lang |
| Verlag: | Springer Verlag GmbH |
| Umfang: | xvi, 456 S., 302 s/w Illustr., 456 p. 302 illus. |
| Erscheinungsdatum: | 30.09.2009 |
| Auflage: | 1/2009 |
| Produktform: | Gebunden/Hardback |
| Einband: | Gebunden |
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