Micromechanical tunable Fabry-Pérot interferometers with membrane Bragg mirrors based on silicon/silicon carbonitride

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Berichte aus der Mikrosystemtechnik

ISBN: 3844069089
ISBN 13: 9783844069082
Autor: Huber, Christian
Verlag: Shaker Verlag GmbH
Umfang: IV, 202 S., 61 farbige Illustr., 67 Illustr.
Erscheinungsdatum: 16.09.2019
Auflage: 1/2019
Format: 1.5 x 21.2 x 15
Gewicht: 281 g
Produktform: Kartoniert
Einband: KT
Artikelnummer: 7887899 Kategorie:

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