Silicon-on-Insulator Technology

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Materials to VLSI

ISBN: 079238007X
ISBN 13: 9780792380078
Autor: Colinge, J -P
Verlag: Springer Verlag GmbH
Umfang: xii, 272 S.
Erscheinungsdatum: 30.09.1997
Produktform: Gebunden/Hardback
Einband: GEB

An updated description of the facets of SOI technology. It offers a review of SOI materials, devices and circuits, fabrication and characterization techniques, device processing, the physics of the SOI MOSFET as well as that of SOI other devices and the performances of SOI circuits.

Artikelnummer: 1558113 Kategorie:

Beschreibung

Inhaltsangabe1. Introduction. 2. SOI Materials. 3. SOI Materials Characterization. 4. SOI CMOS Technology. 5. The SOI MOSFET. 6. Other SOI Devices. 7. The SOI MOSFET Operating in a Harsh Environment. 8. SOI Circuits. Index.

Inhaltsverzeichnis

1. Introduction. 2. SOI Materials. 3. SOI Materials Characterization. 4. SOI CMOS Technology. 5. The SOI MOSFET. 6. Other SOI Devices. 7. The SOI MOSFET Operating in a Harsh Environment. 8. SOI Circuits. Index.

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