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69121 Heidelberg
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Electroceramic-Based MEMS
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Fabrication-Technology and Applications, Electronic Materials: Science & Technology 9
| ISBN: | 0387233105 |
|---|---|
| ISBN 13: | 9780387233109 |
| Herausgeber: | Nava Setter |
| Verlag: | Springer Verlag GmbH |
| Umfang: | xii, 414 S. |
| Erscheinungsdatum: | 03.03.2005 |
| Auflage: | 1/2005 |
| Produktform: | Gebunden/Hardback |
| Einband: | Gebunden |
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