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2012 Chisinau
MD
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Engineered Particulate Systems for Chemical Mechanical Planarization
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A Systematic Approach to Slurry Formulation for Oxide CMP
| ISBN: | 3843363463 |
|---|---|
| ISBN 13: | 9783843363464 |
| Autor: | Basim, G Bahar |
| Verlag: | LAP LAMBERT Academic Publishing |
| Umfang: | 124 S. |
| Erscheinungsdatum: | 11.01.2011 |
| Auflage: | 1/2011 |
| Format: | 0.9 x 22 x 15 |
| Gewicht: | 203 g |
| Produktform: | Kartoniert |
| Einband: | Kartoniert |
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