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Integrated Modeling of Chemical Mechanical Planarization for Sub-Micron IC Fabrication:
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From Particle Scale to Feature, Die and Wafer Scales
| ISBN: | 354022369X |
|---|---|
| ISBN 13: | 9783540223696 |
| Autor: | Luo, Jianfeng/Dornfeld, David A |
| Verlag: | Springer Verlag GmbH |
| Umfang: | xxiv, 311 S. |
| Erscheinungsdatum: | 07.10.2004 |
| Produktform: | Gebunden/Hardback |
| Einband: | Gebunden |
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