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TRAITEMENT PLASMA DE MATERIAUX ORGANOSILICIES EN MICROELECTRONIQUE
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APPLICATIONS EN LITHOGRAPHIE AVANCÉE ET COMME ISOLANT D“INTERCONNEXION
| ISBN: | 6131537747 |
|---|---|
| ISBN 13: | 9786131537745 |
| Autor: | Eon, David |
| Verlag: | Éditions universitaires européennes |
| Umfang: | 264 S. |
| Erscheinungsdatum: | 27.10.2010 |
| Auflage: | 1/2010 |
| Format: | 1.7 x 22 x 15 |
| Gewicht: | 411 g |
| Produktform: | Kartoniert |
| Einband: | Kartoniert |
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