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Beiträge zur Technologieentwicklung für die Erzeugung von Airgap-Strukturen in Metallisierungssystemen in integrierten Schaltkreisen
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| ISBN: | 3640294521 |
|---|---|
| ISBN 13: | 9783640294527 |
| Autor: | Schulze, Knut |
| Verlag: | GRIN Verlag |
| Umfang: | 288 S., 38 farbige Illustr. |
| Erscheinungsdatum: | 15.04.2009 |
| Auflage: | 1/2009 |
| Format: | 2.1 x 29.7 x 21 |
| Gewicht: | 844 g |
| Produktform: | Kartoniert |
| Einband: | Kartoniert |
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