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Hafnium Oxide And Hafnium Silicate For High-k Application
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Characterization of Hafnium Based Oxide Thin Films Deposited by CVD & Plasma-CVD For High-k Application in Transistors
| ISBN: | 3838333888 |
|---|---|
| ISBN 13: | 9783838333885 |
| Autor: | Bhandari, Harish |
| Verlag: | LAP LAMBERT Academic Publishing |
| Umfang: | 232 S. |
| Erscheinungsdatum: | 03.04.2010 |
| Auflage: | 1/2010 |
| Format: | 1.4 x 22 x 15 |
| Gewicht: | 364 g |
| Produktform: | Kartoniert |
| Einband: | Kartoniert |
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