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Lecture Notes on Principles of Plasma Processing
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| ISBN: | 0306474972 |
|---|---|
| ISBN 13: | 9780306474972 |
| Autor: | Chen, Francis F/Chang, Jane P |
| Verlag: | Springer Verlag GmbH |
| Umfang: | xi, 208 S., 177 s/w Illustr., 208 p. 177 illus. With online files/update. |
| Erscheinungsdatum: | 31.01.2003 |
| Auflage: | 1/2003 |
| Produktform: | Kartoniert |
| Einband: | Kartoniert |
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