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Ion Sources

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ISBN:	3540657479
ISBN 13:	9783540657477
Autor:	Zhang, Huashun
Herausgeber:	Jianrong Zhang
Verlag:	Springer Verlag GmbH
Umfang:	xviii, 476 S.
Erscheinungsdatum:	08.11.1999
Produktform:	Gebunden/Hardback
Einband:	Gebunden

Artikelnummer: 1447345 Kategorie: Atomphysik, Kernphysik

Beschreibung

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This book is the most comprehensive book on ion sources as part of ion implantation technology, a newly established basic technology for microelectronic device processing. It appeals to physicists, engineers and advanced students active in ion implantation and ion beam physics.

Herstellerkennzeichnung:

Springer Verlag GmbH
Tiergartenstr. 17
69121 Heidelberg
DE

E-Mail: juergen.hartmann@springer.com

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