Ion Sources

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ISBN: 3642085024
ISBN 13: 9783642085024
Autor: Zhang, Huashun
Herausgeber: Jianrong Zhang
Verlag: Springer Verlag GmbH
Umfang: xviii, 476 S.
Erscheinungsdatum: 03.12.2010
Auflage: 1/1999
Produktform: Kartoniert
Einband: Kartoniert

This book is the most comprehensive book on ion sources as part of ion implantation technology, a newly established basic technology for microelectronic device processingIncludes supplementary material: sn.pub/extras

Artikelnummer: 1513959 Kategorie:

Beschreibung

While dealing with the design and operation of ion sources, this book additionally discusses the physics of ion formation of the various elements with different charge states and charge neutralization. Ion selection and beam diagnostics are equally included, and the presentation of the necessary equations and diagrams for the various parameters makes this a useful handbook for ion sources.

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69121 Heidelberg
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E-Mail: juergen.hartmann@springer.com

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