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69121 Heidelberg
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Predictive Simulation of Semiconductor Processing
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Status and Challenges, Springer Series in Materials Science 72
| ISBN: | 3540204814 |
|---|---|
| ISBN 13: | 9783540204817 |
| Herausgeber: | Jarek Dabrowski/Eicke R Weber |
| Verlag: | Springer Verlag GmbH |
| Umfang: | xvii, 490 S., 161 s/w Illustr., 16 farbige Illustr., 490 p. 177 illus., 16 illus. in color. |
| Erscheinungsdatum: | 05.05.2004 |
| Produktform: | Gebunden/Hardback |
| Einband: | Gebunden |
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