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Precision Nanometrology
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Sensors and Measuring Systems for Nanomanufacturing, Springer Series in Advanced Manufacturing
| ISBN: | 1849962537 |
|---|---|
| ISBN 13: | 9781849962537 |
| Autor: | Gao, Wei |
| Verlag: | Springer Verlag GmbH |
| Umfang: | xiii, 354 S. |
| Erscheinungsdatum: | 28.06.2010 |
| Auflage: | 1/2010 |
| Produktform: | Gebunden/Hardback |
| Einband: | Gebunden |
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