Micromachines as Tools for Nanotechnology

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Microtechnology and MEMS

ISBN: 3642624650
ISBN 13: 9783642624650
Herausgeber: Hiroyuki Fujita
Verlag: Springer Verlag GmbH
Umfang: xii, 211 S., 568 s/w Illustr.
Erscheinungsdatum: 29.10.2012
Auflage: 1/2003
Produktform: Kartoniert
Einband: Kartoniert
Artikelnummer: 4536994 Kategorie:

Beschreibung

Herstellerkennzeichnung:


Springer Verlag GmbH
Tiergartenstr. 17
69121 Heidelberg
DE

E-Mail: juergen.hartmann@springer.com

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