Beschreibung
Die gesamtwirtschaftliche Bedeutung der Mikrosystemtechnik ist nach wie vor ungebrochen. Besonders die Bedeutung hybrider Mikrosysteme wird aufgrund ihrer vielfältigen Einsatzmöglichkeiten in den nächsten Jahren weiter zunehmen. Für derartige Systeme ist es zwingend erforderlich, dass eine geeignete Prüf- und Montagetechnik gleichermaßen mitentwickelt wird. Dieser Markt wird derzeit vor allem von gerätetechnischen Insellösungen dominiert. Ganzheitliche Systeme existieren nicht. Vor diesem Hintergrund wurde in der vorliegenden Arbeit eine flexible Desktop Factory für das Prüfen und Montieren von Mikrosystemen entwickelt. Im Ergebnis soll das Gerät die Prüf- und Montagekosten von Mikrosystemen senken und den Automatisierungsgrad in der Mikroproduktion steigern. Für die Systementwicklung wurden zunächst wichtige Anforderungen identifiziert und das Gesamtsystem in Subsysteme unterteilt. Zudem wurde ein hybrides Mikrosystem (Mikrosynchronmotor) als Demonstrator definiert. Nach der Auslegung der Subsysteme wurden diese auf einer schwingungsgedämpften Plattform zur Desktop Factory zusammengesetzt. Dabei lag der Fokus auf größtmöglicher Flexibilität und Kompatibilität. Ferner wurde mit verschiedenen Versuchen die Funktionsweise überprüft. Dazu zählten u. a. das Messen geometrischer Größen und die Identifikation von Merkmalen. Außerdem wurden im Rahmen der Arbeit Fertigungstoleranzen von Mikrobauteilen untersucht. Abschließend wurde eine komplette Prozesskette aus Prüf- und Montageprozessen präsentiert. Im Ergebnis konnte die Funktionalität der Desktop Factory erfolgreich nachgewiesen werden.
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