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69121 Heidelberg
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Design and Manufacturing of Active Microsystems
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Microtechnology and MEMS
| ISBN: | 3642267386 |
|---|---|
| ISBN 13: | 9783642267383 |
| Herausgeber: | Stephanus Büttgenbach/Arne Burisch/Jürgen Hesselbach |
| Verlag: | Springer Verlag GmbH |
| Umfang: | xii, 444 S., 319 s/w Illustr., 33 farbige Illustr. |
| Erscheinungsdatum: | 21.03.2014 |
| Auflage: | 1/2014 |
| Produktform: | Kartoniert |
| Einband: | Kartoniert |
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