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69121 Heidelberg
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Design and Manufacturing of Active Microsystems
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Microtechnology and MEMS
| ISBN: | 3642129021 |
|---|---|
| ISBN 13: | 9783642129025 |
| Herausgeber: | Stephanus Büttgenbach/Arne Burisch/Jürgen Hesselbach |
| Verlag: | Springer Verlag GmbH |
| Umfang: | xii, 444 S. |
| Erscheinungsdatum: | 10.03.2011 |
| Auflage: | 1/2011 |
| Produktform: | Gebunden/Hardback |
| Einband: | Gebunden |
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