Research on Chemical Mechanical Polishing Mechanism of Novel Diffusion Barrier Ru for Cu Interconnect
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Springer Theses
ISBN: | 9811355851 |
---|---|
ISBN 13: | 9789811355851 |
Autor: | Cheng, Jie |
Verlag: | Springer Verlag GmbH |
Umfang: | xviii, 137 S., 103 s/w Illustr., 137 p. 103 illus. |
Erscheinungsdatum: | 30.01.2019 |
Auflage: | 1/2018 |
Produktform: | Kartoniert |
Einband: | KT |
This thesis addresses selected unsolved problems in the chemical mechanical polishing process (CMP) for integrated circuits using ruthenium (Ru) as a novel barrier layer material. Pursuing a systematic approach to resolve the remaining critical issues in the CMP, it first investigates the tribocorrosion properties and the material removal mechanisms of copper (Cu) and Ru in KIO4-based slurry. The thesis subsequently studies Cu/Ru galvanic corrosion from a new micro and in-situ perspective, and on this basis, seeks ways to mitigate corrosion using different slurry additives. The findings presented here constitute a significant advance in fundamental and technical investigations into the CMP, while also laying the groundwork for future research.
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