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Characterization and Metrology for ULSI Technology: 1998 International Conference, 23-27 March 1998
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National Institute of Standards and Technology, Gaithersburg MD, USA, 2 Bde, AIP Conference Proceedings 449
| ISBN: | 1563967537 |
|---|---|
| ISBN 13: | 9781563967535 |
| Herausgeber: | D G Seiler/A C Diebold/W M Bullis et al |
| Verlag: | Springer Verlag GmbH |
| Erscheinungsdatum: | 01.12.1998 |
| Auflage: | 1/1998 |
| Produktform: | Buch |
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