Beschreibung
InhaltsangabeHärtemechanismen in Hartstoffschichten.- Kriterien für die anwendungsbezogene Auswahl von Hartstoffschichten.- Hartstoffschichten in der Mikroelektronik.- Anforderungen an dekorative harte Schichten.- Eigenspannungsmessungen an Hartstoffschichten.- Probleme der Lohnbeschichtung - Qualitätssicherung.- Die PVD-Beschichtung aus der Sicht des Werkstoffherstellers.- Silbernes TIN durch Magnetronsputtern und seine Anwendungsbeispiele.- Das unbalancierte Magnetron.- Plasmanitrieren von Titan und Titanlegierungen.- Oberflächenbehandlung von TI-Werkstoffen mit CO2-Hochleistungslasern.- Ionenstrahlmischen von Hartstoffschichten.- Moderne Entwicklungen auf dem Gebiet der CVD-Beschichtung von Hartmetallen.- MOCVD für Hartstoffe.- Plasma-CVD-Beschichtung von Hartmetallen.- Neue Schichtsysteme mit dem ARC-PVD-Verfahren.- Korrosionsschutz mit PVD-Schichten auf Cr-Basis.- Korrosionsverhalten von Arc-PVD-Schichten.- Faktendatenbank für Hartstoffschichten.
aus der Sieht des WerkstofTherstellers 106 Silbemes TiN dureh Magnetronsputtem und seine Anwendungsbeispiele. 121 Das unbalaneierte Magnetron. 129 Plasmanitrieren von Titan und Titanlegierungen. 163 Oberfiaehenbehandlung von TI-Werkstoffen mit CO -Hoehleistungslasem. 176 2 Ionenstrahlmisehen von Hartstoffsehiehten. 188 Modeme Entwieklungen auf dem Gebiet der CVD-Besehiehtung von Hartmetallen. 205 MOCVD fUr Hartstoffe. 221 Plasma-CVD-Besehiehtung von Hartmetallen. 239 Neue Sehiehtsysteme mit dem ARC-PVD-Verfahren. 250 Korrosionssehutz mit PVD-Sehichten auf Cr-Basis.
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