Laserbasierende Messmethode zur Insitu-Bestimmung von Poliertuchdicken

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Ermittlung von Poliertuchdicken und -abtrag im CMP-Prozess durch Lasertriangulation

ISBN: 363940954X
ISBN 13: 9783639409543
Autor: Hildebrandt, Sven
Verlag: AV Akademikerverlag
Umfang: 96 S.
Erscheinungsdatum: 08.08.2012
Auflage: 1/2012
Format: 0.7 x 22 x 15
Gewicht: 161 g
Produktform: Kartoniert
Einband: Kartoniert
Artikelnummer: 3948043 Kategorie:

Beschreibung

Herstellerkennzeichnung:


OmniScriptum SRL
Str. Armeneasca 28/1, office 1
2012 Chisinau
MD

E-Mail: info@omniscriptum.com

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