Beschreibung
Diese Dissertation behandelt die Entwicklung eines zweiachsigen vakuum-gekapselten MEMS-Spiegels für den Einsatz in kompakten Laser-Projektions-Displays. Diese Miniatur-Laser-Projektoren sind u.a. von Bedeutung für Head-Up-Displays, Armaturenbrett-Displays und neuartige Scheinwerfer-Systeme im Automobil. Darüber hinaus eignen sie sich durch ihre geringe Baugröße für die Integration in Konsumer-Produkte wie Smartphones, Tabletts, Datenbrillen und Digitalkameras. Mit einer Scanfrequenz von über 36 kHz ermöglichen die im Rahmen dieser Arbeit entwickelten hermetisch gekapselten 2D-MEMS-Spiegel Laser-Video-Projektion mit HD720 Auflösung. Die MEMS-Spiegel werden kostengünstig zu hunderten parallel auf 200 mm Wafern aus Silizium gefertigt und zeichnen sich neben ihrer extrem geringen Baugröße durch eine sehr geringe Leistungsaufnahme aus.
Autorenporträt
Ulrich Hofmann ist wissenschaftlicher Mitarbeiter des Fraunhofer Instituts für Siliziumtechnologie ISIT in Itzehoe und leitet dort seit 1995 die Entwicklung optischer Mikrosysteme.
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