Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique

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A Manual of Wet-Etched Silicon Structures

ISBN: 3540221093
ISBN 13: 9783540221098
Autor: Frühauf, Joachim
Verlag: Springer Verlag GmbH
Umfang: xii, 222 S., 165 s/w Illustr., 145 s/w Fotos, 20 s/w Zeichng.
Erscheinungsdatum: 12.10.2004
Auflage: 1/2004
Produktform: Gebunden/Hardback
Einband: Gebunden
Artikelnummer: 1574329 Kategorie:

Beschreibung

Herstellerkennzeichnung:


Springer Verlag GmbH
Tiergartenstr. 17
69121 Heidelberg
DE

E-Mail: juergen.hartmann@springer.com

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