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Passivation de GaAs par déposition LF-PECVD du nitrure de silicium
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GaAs passivation by LF-PECVD silicon nitride deposition
| ISBN: | 6131581614 |
|---|---|
| ISBN 13: | 9786131581618 |
| Autor: | Jaouad, Abdelatif |
| Verlag: | Éditions universitaires européennes |
| Umfang: | 164 S. |
| Erscheinungsdatum: | 12.08.2011 |
| Auflage: | 1/2011 |
| Format: | 1 x 22 x 15 |
| Gewicht: | 262 g |
| Produktform: | Kartoniert |
| Einband: | Kartoniert |
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