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On UV-Nanoimprint-Lithography as Direct Patterning Tool for Polymeric Microsystems
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| ISBN: | 394271065X |
|---|---|
| ISBN 13: | 9783942710657 |
| Autor: | Kirchner, Robert |
| Verlag: | TUDpress Verlag der Wissenschaften GmbH |
| Umfang: | 216 S., 13 farbige Illustr. |
| Erscheinungsdatum: | 15.05.2012 |
| Auflage: | 1/2012 |
| Format: | 1.4 x 21 x 14.8 |
| Gewicht: | 320 g |
| Produktform: | Kartoniert |
| Einband: | Kartoniert |
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