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Les Plasmas pour les Interconnexions en Microélectronique
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Les Procédés par Plasmas Impliqués dans lIntégration des Matériaux SiOCH Poreux pour les Interconnexions en Microélectronique
| ISBN: | 6131502625 |
|---|---|
| ISBN 13: | 9786131502620 |
| Autor: | Darnon, Maxime |
| Verlag: | Éditions universitaires européennes |
| Umfang: | 316 S. |
| Erscheinungsdatum: | 20.04.2010 |
| Auflage: | 1/2010 |
| Format: | 1.9 x 22 x 15 |
| Gewicht: | 489 g |
| Produktform: | Kartoniert |
| Einband: | Kartoniert |
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