Beschreibung
Kantenisolation von monokristallinen Solarwafern auf Basis von thermisch angeregten Ätzpasten mittels CO2-Laser. Über Anregung einer KOH-Paste wurde selektiv Silizium am Rand eines Wafer zur Erzeugung einer Isolationskante geätzt. In Abhängigkeit des Isolationsgrades wurden die Spurbreiten der aufgetragenenen Paste sowie die Laserparameter Intensität und Vorschubgeschindigkeit untersucht. Dabei wurde gezeigt, dass die Wafer unter bestimmten Parameter isoliert werden können.
Autorenporträt
David Haldan,Jahrgang 1985, Ausbildung zum Physiklaboranten von 2005-2009 am institut für Oberflächenmodifizierung. Studium in der Fachrichtung "Physikalische Technik" an der Hochschule Mittweida von 2009-2014. Bachelor über "Untersuchung laserbasierter Prozesse zur Kantenisolation von Solarwafern"
Herstellerkennzeichnung:
BoD - Books on Demand
In de Tarpen 42
22848 Norderstedt
DE
E-Mail: info@bod.de
