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69121 Heidelberg
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Entwicklung und Optimierung von Prozeßkomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren
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IPA-IAO – Forschung und Praxis 202
| ISBN: | 3540585117 |
|---|---|
| ISBN 13: | 9783540585114 |
| Autor: | Olbrich, Walter |
| Verlag: | Springer Verlag GmbH |
| Umfang: | 126 S. |
| Erscheinungsdatum: | 21.10.1994 |
| Auflage: | 1/1994 |
| Produktform: | Kartoniert |
| Einband: | Kartoniert |
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