Etude du probleme inverse en scatterometrie

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Application de la scatterometrie spectroscopique a la metrologie dimensionnelle en microelectronique

ISBN: 6131527296
ISBN 13: 9786131527296
Autor: Quintanilha, Richard
Verlag: Éditions universitaires européennes
Umfang: 272 S.
Erscheinungsdatum: 13.08.2010
Auflage: 1/2010
Format: 1.7 x 22 x 15
Gewicht: 423 g
Produktform: Kartoniert
Einband: Kartoniert
Artikelnummer: 1351824 Kategorie:

Beschreibung

Herstellerkennzeichnung:


OmniScriptum SRL
Str. Armeneasca 28/1, office 1
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MD

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