Produktbild: Elaboration de films de (La, Sr)2NiO4 et (Ba, Sr)TiO3 par ablation laser

Elaboration de films de (La, Sr)2NiO4 et (Ba, Sr)TiO3 par ablation laser

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Croissance épitaxiale de perovskites sur substrat silicium pour lintégration de condensateurs de forte capacité

ISBN: 383814919X
ISBN 13: 9783838149196
Autor: Goux, Ludovic
Verlag: Presses Académiques Francophones
Umfang: 224 S.
Erscheinungsdatum: 16.12.2014
Auflage: 1/2014
Format: 1.4 x 22 x 15
Gewicht: 352 g
Produktform: Kartoniert
Einband: Kartoniert
Artikelnummer: 7642028 Kategorie:

Beschreibung

Cette étude est une tentative dépitaxie par ablation laser de loxyde de forte permittivité Ba0.6Sr0.4TiO3 (BST) sur silicium en vue de lintégration de condensateurs de forte capacité. Nous montrons dabord leffet bénéfique dune croissance de BST orientée selon les plans (h00) sur substrat monocristallin SrTiO3(100) sur la valeur de la permittivité du film. Comme par ailleurs nous confirmons que la croissance du BST sur substrat Pt(111)/TiOx/SiO2/Si (0

Autorenporträt

Ludovic Goux est Docteur en Sciences de l'Ingénieur (Tours, 2002) et Habilité à Diriger des Recherches (Aix-Marseille, 2013). Depuis 2002 il explore et développe principalement des mémoires électroniques émergentes (FRAM, PCRAM, RRAM,...) au sein du centre IMEC de Leuven. Il est (co-)auteur de 150 publications scientifiques internationales.

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