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69121 Heidelberg
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The Physics of Micro/Nano-Fabrication
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Microdevices
| ISBN: | 0306441462 |
|---|---|
| ISBN 13: | 9780306441462 |
| Autor: | Brodie, Ivor/Muray, Julius J |
| Verlag: | Springer Verlag GmbH |
| Umfang: | xx, 622 S. |
| Erscheinungsdatum: | 31.01.1993 |
| Produktform: | Gebunden/Hardback |
| Einband: | Gebunden |
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