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Sputtering by Particle Bombardment I
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Physical Sputtering of Single-Element Solids, Topics in Applied Physics 47
| ISBN: | 3662308886 |
|---|---|
| ISBN 13: | 9783662308882 |
| Herausgeber: | R Behrisch |
| Verlag: | Springer Verlag GmbH |
| Umfang: | xi, 284 S., 19 s/w Illustr., 284 p. 19 illus. |
| Erscheinungsdatum: | 23.08.2014 |
| Auflage: | 1/1981 |
| Produktform: | Kartoniert |
| Einband: | Kartoniert |
Inhaltsangabeand overview.- Sputtering by ion bombardment theoretical concepts.- Theoretical aspects of monocrystal sputtering.- Sputtering yield measurements.- Sputtering yields of single crystalline targets.
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