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Fundamental Electron Interactions with Plasma Processing Gases
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Physics of Atoms and Molecules
| ISBN: | 1461347416 |
|---|---|
| ISBN 13: | 9781461347415 |
| Autor: | Christophorou, Loucas G/Olthoff, James K |
| Verlag: | Springer Verlag GmbH |
| Umfang: | xv, 781 S. |
| Erscheinungsdatum: | 21.09.2012 |
| Auflage: | 1/2012 |
| Produktform: | Kartoniert |
| Einband: | Kartoniert |
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