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Dry Etching for VLSI
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Updates in Applied Physics and Electrical Technology
| ISBN: | 0306438356 |
|---|---|
| ISBN 13: | 9780306438356 |
| Autor: | van Roosmalen, A J/Baggerman, J A G/Brader, S J H |
| Verlag: | Springer Verlag GmbH |
| Umfang: | xvii, 237 S., 35 s/w Illustr. |
| Erscheinungsdatum: | 31.03.1991 |
| Produktform: | Gebunden/Hardback |
| Einband: | Gebunden |
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