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Lithography (microfabrication)
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Photolithography, Photoresist, Extreme ultraviolet lithography, Electron beam lithography, Multiple patterning, Nanoimprint lithography, Local oxidation nanolithography, Stepper, Computational lithography, Dip-Pen Nanolithography
| ISBN: | 1157639216 |
|---|---|
| ISBN 13: | 9781157639213 |
| Herausgeber: | Source: Wikipedia |
| Verlag: | Books LLC, Reference Series |
| Umfang: | 56 S. |
| Erscheinungsdatum: | 03.09.2012 |
| Auflage: | 1/2012 |
| Format: | 0.4 x 24.6 x 18.9 |
| Gewicht: | 130 g |
| Produktform: | Kartoniert |
| Einband: | Kartoniert |
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