Semiconductor Lithography
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Principles, Practices, and Materials, Microdevices
| ISBN: | 1461282284 |
|---|---|
| ISBN 13: | 9781461282280 |
| Autor: | Moreau, Wayne M |
| Verlag: | Springer Verlag GmbH |
| Umfang: | 952 S. |
| Erscheinungsdatum: | 22.02.2012 |
| Auflage: | 1/1988 |
| Format: | 5.3 x 24.5 x 17 |
| Gewicht: | 1637 g |
| Produktform: | Kartoniert |
| Einband: | KT |
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