Lithography

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ISBN:	184821202X
ISBN 13:	9781848212022
Autor:	Landis, Stefan
Verlag:	Wiley-VCH GmbH
Umfang:	404 S.
Erscheinungsdatum:	19.11.2010
Auflage:	1/2010
Produktform:	Gebunden/Hardback
Einband:	GEB

Artikelnummer: 1320528 Kategorie: Elektronik, Elektrotechnik, Nachrichtentechnik

Beschreibung

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Lithography is now a complex tool at the heart of a technological process for manufacturing micro and nanocomponents. A multidisciplinary technology, lithography continues to push the limits of optics, chemistry, mechanics, micro and nano-fluids, etc. This book deals with essential technologies and processes, primarily used in industrial manufacturing of microprocessors and other electronic components.

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